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      【安捷倫】見證從微米到納米的變遷 — 記安捷倫半導體無機元素分析論壇

      儀器信息網 2020/01/15 18:36:45 點擊 1117 次

      先進半導體材料的發展,已經成為國家戰略發展的重要內容。而無機雜質分析和質量控制是半導體制程中非常重要的一環。

      為了助推集成電路產業發展,作為半導體無機分析的領導者,安捷倫科技于 2020 年 1 月 9 日,在上海舉辦了“安捷倫半導體論壇無機元素分析論壇”。來自全國的集成電路產業超過 100 名代表參加了本次論壇。

      來自日本和臺灣地區的半導體無機分析專家,高純試劑供應商 QC 專家,以及半導體在線元素分析,高純氣體分析等解決方案的供應商,分享了在半導體無機分析最先進分析技術,最熱門的客戶需求,以及最前沿的解決方案,共同為大家帶來一場集成電路無機雜質分析技術盛宴。

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      圖為:論壇現場

      首先,安捷倫大中華東大區整機銷售總經理楊挺先生做了精彩的歡迎致辭。

      圖為:安捷倫科技大中華東大區整機銷售總經理楊挺

      ICP-MS 已經成為半導體制程中痕量元素分析的標準技術。面對半導體制程一路快速發展,痕量元素分析的要求也越來越高。作為半導體行業無機分析解決方案的領導者,自 20 世紀 80 年代后期以來,安捷倫與領先的半導體制造商和化學品供應商密切合作,開發一系列 ICP-MS 系統和應用。

      安捷倫 ICP-MS 半導體元素分析的創新之路

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      安捷倫原子光譜研發總監 Matsuzaki 先生帶來了《安捷倫 ICP-MS 半導體元素分析中的創新之路》的報告,回顧了半導體客戶對于儀器穩定性和基體耐受性的核心需求,安捷倫從冷等離子體技術到世界上第一臺串接 ICP-MS,實現的一次次技術提升,以及對未來 ICP-MS 技術發展的展望。

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      圖為:安捷倫原子光譜 R&D 總監 Toshifumi Matsuzaki  

      亞太地區半導體全新分析技術

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      客戶不斷提升的需求,驅動著安捷倫不斷技術創新。來自臺灣巴斯夫無機事業部品質管理經理,負責巴斯夫全球實驗室的技術支持的許卿恆先生,做了名為《亞太地區半導體全新分析技術》的報告,分享了半導體制程飛速發展中對檢測技術革新最直接的感受,以及利用安捷倫 7900 ICP-MS\8900 ICP-MS/MS實現越來越嚴格半導體無機雜質質控要求的故事。


      圖為:臺灣巴斯夫無機事業部 品質管理經理 許卿恆

      ICP-MS/MS 測定有機溶劑中氯的分析技巧

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      來自安捷倫日本,有著超過 30 年半導體 ICP-MS 應用研發經驗的安捷倫的高級應用科學家Mizobuchi 先生帶來了半導體領域又一個無機雜質質控難題攻克的故事:《ICP-MS/MS 測定有機溶劑中氯的分析技巧》。

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      圖為:安捷倫日本 ICP-MS 高級應用科學家 Katsuo Mizobuchi

      單納米顆粒 ICP-MS 分析的最新趨勢

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      隨著半導體制程線寬越來越窄,可能一個納米級別的不溶性顆粒,都有可能造成不合格產品。關注半導體行業多年的安捷倫半導體 ICP-MS 應用專家 Shimamura 先生做了名為《單納米顆粒ICP-MS 分析的最新趨勢》的報告,介紹了安捷倫強大的應用研發團隊和客戶開發了利用 ICP-MS 分析高純試劑中單納米顆粒的最近技術進展。

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      圖為:安捷倫日本 半導體行業 ICP-MS 應用專家 Shimamura Yoshinori

      半導體無機雜質在線分析最新成果

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      除了 ICP-MS 最前沿的技術進展,本次半導體論壇,安捷倫合作伙伴也分享了最新應用。來自德國 PVA Tepla 公司,VDP 事業部的經理 Robert Beikler 博士分享了 VPD 分析中的全自動液體處理和超痕量測試解決方案。

      圖為:德國 PVA Tepla 公司 VDP 事業部經理 Robert Beikler

      IAS Inc. China 的陳登云先生,帶來了氣體在線分析解決方案《最新氣體分析和單納米顆粒 ICP-MS 新進樣系統介紹》。

      圖為:IAS Inc. China 技術總監 陳登云

      本次論壇,來自半導體無機雜質分析各領域的專家分享了精彩的報告。來自全國的集成電路產業鏈的參會代表與演講嘉賓,對無機雜質分析領域最前沿而分析技術,以及最熱門的解決方案做了充分的溝通和交流。

      關于安捷倫科技

      安捷倫是生命科學、診斷和應用化學市場領域的領導者。公司為全世界的實驗室提供儀器、服務、消耗品、應用與專業知識,以幫助客戶獲得他們所尋求的深入見解。安捷倫的專業知識和深受信賴的合作能力,使得客戶對解決方案滿懷信心。

      推薦閱讀

      1.  ICP-MS 期刊 | 半導體行業解決方案創新之路,附海量干貨下載

      http://www.bordasport.com/netshow/SH100320/news_483925.htm

      2.  微米到納米的變遷 | 安捷倫和半導體行業的“超純”往事

      http://www.bordasport.com/netshow/SH100320/news_520378.htm

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      [來源:安捷倫]  
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